DIN 50452-1-1988 半导体工艺材料的检验.溶液内粒子解析法.显微镜粒子测定

作者:标准资料网 时间:2024-05-19 14:15:38  浏览:8911   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;testmethodforparticleanalysisinliquids;microscopicdeterminationofparticles
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.溶液内粒子解析法.显微镜粒子测定
【标准号】:DIN50452-1-1988
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1988-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:粒子分析;定义;含量测定;显微分析;半导体工艺;试验;液体
【英文主题词】:microscopicanalysis;particleanalysis;determinationofcontent;testing;liquids;definitions;semiconductortechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语